工业废气处理设备是一种用于净化和处理含有有害气体和颗粒物的设备的总称。它的工作原理主要是通过物理或化学反应将污染物转化为无害物质，如吸附、吸收、过滤等过程。

其中一种常见的技术是活性炭吸附法（CAF）。它利用了活性碳具有高表面积的特性，能够有效地并储存有毒的气体分子。当含毒空气流经装有粒径适宜的活性碳的床层时，空气中污染物质被有效捕集并在其表面富集。随后将这些收集的有毒物质进行回收或者处置。