工业废气处理装置是一种用于处理工业生产过程中产生的废气的设备。其工作原理主要包括以下几个步骤：

首先，废气经过预处理，去除其中的粉尘、灰尘、油污等杂质，以减少对后续处理过程的影响。

其次，废气经过氧化处理，利用氧化剂的氧化作用将废气中的有机物、氮氧化物、硫氧化物等污染物氧化成无害的产物，如水和二氧化碳等。

后，经过过滤和吸附等处理，进一步去除废气中的微小颗粒和有害物质，使其达到排放标准。

在实际应用中，工业废气处理装置通常会根据不同的废气成分和处理要求，采用不同的处理方法和组合方式，以达到佳的处理效果。